激光干涉儀的工作原理及使用方法

激光干涉儀的工作原理：

激光干涉儀發射單一頻率光束，光束射入線性干與鏡后分紅兩道光束射向反射鏡，這兩道光束再反射回到分光鏡，從頭匯聚返回激光干涉儀。若光程差沒有改變時，激光干涉儀會在相長性和相消性干涉的兩極之間找到安穩的信號。若光程差有改變時，這些改變會被核算并用來丈量兩個光程之間的差異改變。

當高壓連接在陽極和陰極之間時，混合氣體被激起，構成激光光束，經過放大激光光強使一些光透射出來成為輸出激光光束。其間，為實現平衡狀況，經過加熱器控制激光管長度讓激光穩頻的精度保持在±0.05ppm以內，此時安穩輸出后，激光器即可進行干涉丈量。如今大多數現代位移干與儀都使用氦氖(HeNe)激光管，這些激光管具有633納米的波長輸出。

激光器的頻率、功率、安穩性、可靠性、光束質量及壽數等指標參數，都關系著激光干涉儀的性能。其間激光頻率是激光干涉儀根本的參數，其頻率(波長)的準確性和安穩性是激光干涉儀丈量精度的確保。

激光干涉儀的使用方法：

1、開機：接通電源打開電源開關，1分鐘后開端檢測。(由于剛開機激光器不安穩)。

2、光路調整：旋上合適的規范鏡頭使規范鏡頭的星點對準尋星窗口中心的黑點，顯示器上顯示完好的圓形圖畫。

3、透鏡面形檢測：調理沉座到被檢透鏡的合適尺寸，(主張大批量固定透鏡的檢測，自己加工固定的沉座)放上透鏡調理高度和透鏡調理鈕使透鏡的星點與規范鏡頭的星點重合，觀測顯示器是否呈現干涉條紋，條紋越少精度越高。干涉圖畫與對準系統同步，無需切換，任何人都能簡單操作。高度調理結構選擇加長的測驗軌道來配合丈量尺寸，可簡潔的丈量出曲率半徑。

4、透鏡曲率半徑檢測：開啟標尺電源開關(清零)，調整圖畫到看清直線干與條紋(3條到5條)，凸透鏡向上調理高度(凹透鏡向下調理高度)到第2個星點呈現的時分調理規范鏡頭調理旋鈕，使圖畫呈現貓眼像，標尺移動的數值就為被測透鏡的曲率半徑。光學側頭